ELA装置（准分子激光退火设备）
适用于高精细LCD、OLED产品制造的准分子激光退火设备
本公司的准分子激光退火（ELA）设备是制造智能手机、数码相机、便携式游戏机
的高清面板时不可或缺的。在制造高精细面板TFT（薄膜晶体管）时，
低温多晶硅（LTPS）TFT被广泛使用，ELA设备用于将a-Si薄膜的结晶化。
适用于高精细LCD、OLED产品制造的准分子激光退火设备
本公司的准分子激光退火（ELA）设备是制造智能手机、数码相机、便携式游戏机
的高清面板时不可或缺的。在制造高精细面板TFT（薄膜晶体管）时，
低温多晶硅（LTPS）TFT被广泛使用，ELA设备用于将a-Si薄膜的结晶化。
准分子激光退火（ELA）设备是由高精密退火腔室，高输出准分子激光，及光学系统构成，通过准确照射出均匀光束，使玻璃基板上的a-Si膜在低温下形成poly-Si结晶化。
本装置是，制造智能手机和数码相机的中小型高精细显示器（LTPS-LCD和OLED）时所需要的设备。