产品介绍 Products

激光退火及成膜设备 Laser & Plasma

激光等离子相关设备

数码相机、手机等的信息设备,已经渗透进我们的生活的每个角落,并且还不断地向高精细化和高性能化发展。此外,其市场也随着产业全球化的发展而急剧扩大。JSW用准分子激光退火设备为高精细的平板显示器的生产和发展做出了贡献。今后,JSW也将不断致力于研究开发,为在激光•等离子相关技术方面实现尖端技术的突破而努力。

准分子激光退火设备Excimer Laser Annealing System

JSW将产业化大功率准分子激光器、均一激光束生成系统和高精度移动台进行整合,提供可以使平板显示器基板上的α-Si在低温状态下结晶为poly-Si的设备。此技术有望实现被视为下一世代平板显示器的OLED面板和3D面板的生产。
近年来,半导体元器件的构造趋向于复杂。而在制作这些元器件的热处理工序中,渐渐出现了只对表面的局部进行加热需要。对此,我公司还开发了可以对应这种特殊要求的固体激光退火设备。此设备在高能图像传感器的批量生产领域得到广泛使用。另外,为了能够对应多样的元器件的热处理要求,我公司也在致力于开发多样的激光退火设备。

  • 对应G5.5/G6基板 LB-ELA装置

    这是使低温Poly-Si TFT平板显示器的量产成为可能的Line Beam式准分子激光退火设备。
    现有多家面板生产厂家在使用。

  • 准分子激光退火设备的振动解析模型

    随着平板显示器的高精细化和大型化,对于准分子激光退火设备的期望也变得越来越高。
    面对显示器生产技术的飞跃性的进步。JSW以振动模拟等解析技术为基础提供最合适的设备构造设计,以激光退火行业的多年经验为基础提出独特的计测、控制方法。从而满足客户的要求。

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